1、漏油：這是真空泵（EDWARDS真空泵維修）常見的故障之一，主要發生在真空泵的油窗、油箱密封墊、電機軸承軸封三個位置上，其主要原因是真空泵使用時間過長而引起這些部位老化，密封失效，從而導致漏油。

解決辦法：更換老化的油窗、軸封、密封墊和已吸滿泵油的毛氈墊，維修完成后，注油前應用愛德華真空泵泵油沖洗真空泵，并用溶劑清洗注油口處的濾網，以保持油箱的清潔。

2、抽不到真空泵的極限真空度：首先檢查真空系統的氣密性，看是否有輕微漏氣。其次應打開氣鎮，讓泵運行30分鐘左右,來抽干非泵油污染引起的可壓縮蒸。

解決方法：更換旋片和彈簧，并清洗轉子和泵腔；檢查排氣閥門，觀看其動作是否失靈，導致排氣不暢，必要時應更換排氣閥門。

3、真空泵（EDWARDS真空泵維修）不能啟動：主要表現為真空泵加電后不能啟動運轉。這時應首先檢查真空泵的電路部分，如保險管是否燒毀、電路部分有沒有元氣件燒壞。在排除電路部分的故障后，應考慮以下兩個因素：

（1）電機燒壞。主要為電機定子線圈燒毀，引起原因較多，如瞬間電流過大，電機軸承使用久了被磨損，致使軸承摩擦阻力變大，電機功率加大，引起溫度上升，燒毀電機。這時應先檢查電機軸承，再檢查電機線圈。軸承損壞就更換軸承；電機線圈燒毀則應維修電機，重新繞制定子線圈。軸承和線圈損壞嚴重時，就需更換電機了。

（2）旋片卡阻。主要表現為旋片與泵腔內表面的摩擦阻力過大，致使電機無法帶動旋片。原因是旋片變形，轉子內的彈簧張開后不能復位，或彈簧壓力和旋片自身離心力的合力過大，導致旋片與泵腔內表面的摩擦阻力過大。這時就應及時修復旋片和彈簧，若不能修復則應更換。